°Ë»ö ÃʱâÈ
À̳«¿¬ ±¹¹«ÃѸ®´Â 8ÀÏ "ÀϺ»ÀÌ ¾îÁ¦ 3´ë ¼öÃâ±ÔÁ¦ ǰ¸ñÀÇ ÇϳªÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ Çѱ¹ ¼öÃâÀ» óÀ½À¸·Î Çã°¡Çß´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¿ï»ê¸ÅÀÏ, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö> ÀúÀÛ±Ç ¹®ÀÇ
¿¬ÇÕ´º½º ´Ù¸¥±â»ç º¸±â
ȸ¿ø»ç Çѱ¹½Å¹®Çùȸ Çѱ¹±âÀÚÇùȸ Çѱ¹»çÁø±âÀÚÇùȸ Çѱ¹ABC
Á¦ÈÞ»ç Áß¾ÓÀϺ¸ ¿ö½ÌÅÏÆ÷½ºÆ® ºí·ë¹ö±× Áß±¹ íþõðìíÜà ³ëÄÆ´º½º